半導体の精密な3次元実装を可能にする高機能精密位置決めテーブルです。
<写真提供：日本精工株式会社>特長
- 垂直案内用に、空気圧で荷重を支持する空気軸受を採用。真直度の再現性±0.1㎛以下を実現。
- 新開発の自重キャンセル機構により、駆動モータの小型化を実現(50%以下)。
- ISO規格最高のクラス1相当のクリーン対応。(ISOクラス1とは1立方メートル中に0.1μm粒子が10個以下)
- 水平方向の運動が垂直軸の動力になる"くさび型"の構造。
- 電動シリンダ・メガトルクモーター等（メカトロ機器）
- 2016.04.14
NSK 精密位置決めテーブル
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