位置決め精度3μm以下、繰り返し位置決め精度±0.2μmを実現した
高精度位置決めテーブルです。
特長
- 位置決め精度3μm以下
- 繰り返し位置決め精度±0.2μm
- 超高精度のリニアスケールを使用し、最大0.0156μmの分解能まで可能
- 洗浄エアー源や周辺機器を必要としない構造のため、周辺環境を汚染しない
- 電動シリンダ・メガトルクモーター等（メカトロ機器）
- 2011.07.04
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